本文標題："從固定的接觸點上測量電流-測量光學儀器"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
人瀏覽過-----時間：2014-8-19 22:4:54
從固定的接觸點上測量電流-測量光學儀器
電子束器件測試電子束探針能用來進行半導體元件的某些
特殊電學測試，并且從原理上來說優(yōu)越于機械探針，因為它可使機
械損傷減至最小，而且探針的大小可以做得非常小.它的一個缺
點是電子束能裂解試樣上面氣氛中的真空泵油，使得在半導體表
面沉積了一層薄的碳膜(這樣電子束信號的診釋可能是困難的）
因此不能獲得足夠多的數(shù)據(jù)來全面地表征元件的性能.
可以使用兩種不同的操作方式.第一種是被測元件通過常規(guī)
的接觸與互連方法被偏置，而元件表面任何選定點的二次電子發(fā)
射被用來估計該點的相對電壓.
第二種是在元件上只作一個外連接線，而將電子束本身作為另一個連接線.
然后從固定的接觸點上測量電流.當檢測非常復雜的電路時，第一種方式是
特別吸引人的，因為它能從電壓襯度發(fā)現(xiàn)失效點
后一篇文章：顯微鏡觀察金屬絲網(wǎng)結(jié)構(gòu)特點-金相分析儀器 »
前一篇文章：« 實驗檢測用電子顯微鏡-分辨率非常高的表面特征
tags:實驗,金相顯微鏡,上海精密儀器,
從固定的接觸點上測量電流-測量光學儀器,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應
本頁地址：/gxnews/1808.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/