本文標(biāo)題："亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s數(shù)據(jù)精度"
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亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s數(shù)據(jù)精度
在現(xiàn)有的精密檢測技術(shù)條件下，要求現(xiàn)高精度的
檢測，則需亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s
數(shù)據(jù)精度的角度計，但是，以高精度的掃描基準(zhǔn)來
進(jìn)行測量是非常困難的，因?yàn)閽呙栊螤顪y量的精度
是由掃描引導(dǎo)的運(yùn)動精度決定。
工作機(jī)械直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)的高精度化是精密檢測技
術(shù)的保證，運(yùn)動機(jī)構(gòu)的運(yùn)動誤差是評價精度必要的
手段。高精度的直定規(guī)等是測量運(yùn)動基準(zhǔn)的最后一
般辦法，但在測量移動范圍很大的計測法等，開發(fā)
出了以激光光線為基準(zhǔn)的測量法。
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