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本文標題:"高精度加工三維微裝配微小元件檢測金相顯微鏡"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2015-1-12 10:23:23

高精度加工三維微裝配微小元件檢測金相顯微鏡

 
    微機電系統是建立在集成電路工藝基礎上的新興產業,在它的
發展初期,主要是利用新的理論制造各種傳感器和生物操作用微探
針,包括壓力傳感器、速度和加速度傳感器、微陀螺、微探針陣列
等。后來出現的LIGA技術、各種電化學加工技術、超高精度加工技
術等,拓展了微機電系統的種類和應用領域,特別是在生物醫學領
域中的應用。相對于傳統的微器件制造方法,這些技術最大優點是
 
    能制造出真正的三維微器件,而其最大不足是機械器件不能與
控制電路做在一起,構成理想的微機電系統。要構成微機電系統,
必須采用微裝配技術,將微器件裝配在一起。
 
    微裝配與傳統的裝配并不一樣,這是因為器件的尺寸減小后,
它的力學性質發生了變化。比如,傳統的裝配中,零件的重力占主
導地位,它具有自定位能力,而微機電系統中的器件,重力的影響
顯著減小,靜電力、表面張力和范德化力占統治地位。這些力不僅
 
    力學性質不清楚,而且會破壞器件的定位關系。如在抓一個這
樣的器件過程中,手爪沒有和器件接觸時,在靜電力和表面張力作
用下,器件會吸附在手爪上,而當手爪張開時,器件也不會自由釋
放。由于這些力的存在,使得微裝配存在很大的困難,必須采用新
的技術和理論加以克服。
 
    由于微裝配與微操作是一個新興的研究領域,許多理論和技術
仍處于研究中,限于個人的理解和知識面,
 

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