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本文標題:"電子在經過了與樣品的相互作用后從樣品底部逸出"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2016-9-27 5:14:7

電子在經過了與樣品的相互作用后從樣品底部逸出

 
 
  透射電子顯微鏡(TEM)
 
  當需要對樣品進行高空間分辨率的檢測時,就要用到透射電子顯微
鏡(TEM)。樣品要足夠薄,使得電子束能夠透過,制備樣品時可直接減
薄或鑲好后減薄截面。如果興趣在于得到小的析出相的特征,可觀察從
樣品制得的碳萃取復型。
 
  電子在經過了與樣品的相互作用后從樣品底部逸出。透射光束中的
電子基本上與樣品沒有任何相互作用就從樣品中穿過;衍射光束中的電
子沒有損失能量(彈性散射),但是因滿足角度準則(與x射線的布拉格定
律相似)被散射到一個新的路徑。透射束和衍射束可用來形成樣品的高
分辨率(在1 nm級)圖像,衍射柬還用來形成樣品微小區域的選區衍射圖
(SAD),它類似于XRD譜含有晶體學的信息。
 
 與樣品相互作用后損失了能量的電子(非彈性散射)也逸出了樣品,
電子能量損失譜(EELS)就是以測量電子損失的能量為基礎,使進行高精
度化學分析成為可能。
 
  最后,在TEM中激發的特征x射線和在SEM中一樣,經過采集分析可
得到化學成分信息,由于x射線是在比SEM小的樣品體積中產生,因此可
用來分析微小的形貌特征。
 

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